Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів
3

A 2DOF SOI-MEMS Nanopositioner With Tilted Flexure Bulk Piezoresistive Displacement Sensors

Рік:
2016
Мова:
english
Файл:
PDF, 10.40 MB
english, 2016
4

An SOI-MEMS Piezoelectric Torsional Stage With Bulk Piezoresistive Sensors

Рік:
2017
Мова:
english
Файл:
PDF, 5.45 MB
english, 2017
6

Optimal design analysis of electrothermally driven microactuators

Рік:
2010
Мова:
english
Файл:
PDF, 476 KB
english, 2010
8

Displacement Sensing With Silicon Flexures in MEMS Nanopositioners

Рік:
2014
Мова:
english
Файл:
PDF, 2.59 MB
english, 2014
10

On the modeling of tilted fixed-guided flexible beams under tension

Рік:
2016
Мова:
english
Файл:
PDF, 2.27 MB
english, 2016
38

MEMS for Nanopositioning: Design and Applications

Рік:
2017
Мова:
english
Файл:
PDF, 9.84 MB
english, 2017
43

Kalman Filter Enabled High-Speed Control of a MEMS Nanopositioner

Рік:
2017
Мова:
english
Файл:
PDF, 2.44 MB
english, 2017
44

Tracking Control of Constant-Linear-Velocity Spiral Reference by LQG Method

Рік:
2017
Мова:
english
Файл:
PDF, 933 KB
english, 2017